Lam Research Corporation 競合他社

会社概要

ラム・リサーチ・コーポレーションは、集積回路の製造に使用される半導体処理装置の設計、製造、販売、改修、サービスを行っています。同社は、タングステンメタライゼーション用途のコンフォーマル膜を成膜するALTUSシステム、銅ダマシン製造を提供する銅配線遷移用のSABRE電気化学蒸着製品、およびVECTORプラズマエンハンストCVD製品を提供しています。また、SPEEDギャップフィル高密度プラズマ化学気相成長製品、Striker枚葉式原子層蒸着製品による誘電体膜ソリューションも提供している。さらに、誘電体エッチ・アプリケーション向けのFlex、RF技術とEquipment Intelligenceソリューションにより再現性の高いウェーハ・ツー・ウェーハ性能を提供する誘電体エッチ・システムVantex、導体エッチ・アプリケーション向けのKiyo、スルーシリコン・ビア・エッチ・アプリケーション向けのSyndion、金属エッチ・プロセス向けのVersys Metal製品を提供している。さらに、ダイの歩留まりを向上させるCoronusベベルクリーン製品、様々なウエハークリーニングアプリケーションに対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品を提供している。同社は米国、中国、欧州、日本、韓国、東南アジア、台湾で製品を販売している。ラム・リサーチ・コーポレーションは1980年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いている。