会社概要

ACM Research, Inc.は、その子会社とともに、世界中で資本設備の開発、製造、販売を行っている。また、ウェハ組立およびパッケージング顧客向けの各種パッケージングツールの開発、製造、販売も行っている。同社は、フロントエンド製造工程用のウェット洗浄装置、チップのフロントエンド製造工程の一部として、またはテストウェーハのリサイクルのために、ウェーハ表面や配線、バリアメタルからランダムな欠陥を除去するために使用される枚葉式シリアル処理ツールであるUltra C SAPS IIおよびUltra C SAPS V、プロセスノード28nm以下のチップの洗浄のために多くの製造工程で使用される枚葉式シリアル処理ツールであるUltra C TEBO IIおよびUltra C TEBO Vを提供しています。さらに、従来の高温枚葉式洗浄ツールで消費される硫酸と過酸化水素の量を大幅に削減し、高い洗浄性能を実現するウェーハ洗浄ツール「Ultra-C Tahoe」や、コーター、デベロッパー、フォトレジスト剥離装置、スクラバー、ウェットエッチング装置、銅メッキ装置などの高度なパッケージングツールも提供している。さらに、ドライプロセス装置であるUltra fn Furnace、膜の均一性を実現するUltra Pmax™ PECVD装置、エアダウンフロー、ロボットハンドリング、カスタマイズ可能なソフトウェアを提供し、特定の顧客要件に対応する300mmプロセス装置であるUltra Track装置、枚葉式裏面洗浄、スクラバー、オートベンチクリーニングツールを含む一連のセミクリティカルクリーニングシステムを提供している。SAPS、TEBO、ULTRA C、ULTRA Fn、Ultra ECP、Ultra ECP map、Ultra ECP apの商標のもと、直販および第三者代理店を通じて製品を販売している。ACMリサーチ社は1998年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いている。